Contribution à la conception et la réalisation d'un fluxmètre à base d'oxyde de vanadium
Hakim Tahi, Sabrina Tair, Slimane Lafane, Zineb Nasri
كلية العلوم-جامعة سعد دحلب - البليدة · الجزائر
الموضوعات
علوم بحتة وطبيعية
الملخص
Ce travail de master consiste à étudier les propriétés structurelles et électriques des couches de dioxyde de vanadium (VO2) dans le cadre de développer une application d'un capteur MEMS telle que les fluxmètres . Les couches minces de VO2 ont été déposées par ablation laser (PLD) sur substrat de silicium. Une caractérisation des dépôts a été faite par des techniques d'analyse structurelle et électrique. Les résultats obtenus après la caractérisation électriques montrent que la caractéristique résistance-température dévoile une ponte transition très importante. Cette propriété offre à ces couches déposées à être de bonne candidates pour les applications d'un fluxmètre. En effet, les expérimentations faites montrent que nous couches déposées pouvent être utilisées dans la réalisation d'un fluxmètre.
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التعريف والنوع
- رقم الوثيقة
- ff82f4a9-2d7c-4820-8333-8391df16b49c
- رقم العقد
- 0
- نوع الوسائط
- Crawler
- نوع المحتوى
- الرسائل العلمية
- صيغة المصدر
- ماستر (LMD)
- نوع الملف
- pdf text
- أسماء الملفات
- 2235483_1.pdf
بيانات النشر
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- اللغة
- French
المصدر والدورية
- اسم المصدر
- Contribution à la conception et la réalisation d'un fluxmètre à base d'oxyde de vanadium
المحتوى والصفحات
- عدد الصفحات
- 0
- كلمات الباحثين
- capteur MEMS ( application). oxyde de vanadium (couche). propriétés structurelles (étude). fluxmètre. propriétés électriques (étude).
إشراف وإعداد
- الإشراف
- Hakim Tahi, Slimane Lafane
- الإعداد
- Sabrina Tair, Zineb Nasri
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