Etude de l’effet de la température et de la durée de diffusion du phosphore à partir des couches PSG sur la jonction PN
Abdelkader Djelloul , Dalila Hocine , Saliha Mekious , Ziad Oumohand
كلية هندسة الكترونية ومعلومات-جامعة مولود معمري - تيزي وزو · الجزائر
الموضوعات
علوم تطبيقية وتكنولوجية
الملخص
Dans ce travail, nous avons étudié l'effet de la température et de la durée de diffusion du phosphore à partir des couches PSG sur la jonction n+. Cela se fait en utilisant un four à tube de quartz, des plaquettes de silicium multi-cristallin de type « p » et des sources de préforme comme source de phosphore. Nous avons caractérisé nos échantillons par diverses techniques de caractérisation tel que :- Les mesures de la durée de vie de nos échantillons par la technique QSSPC.- Les mesures électriques pour la détermination des propriétés électriques de nos échantillons par les techniques "pointe chaude", "quatre pointes" et "Effet Hall".- Informations moléculaires et nature chimique de nos échantillons analysés par spectroscopie infrarouge à transformée de Fourier (FTIR).
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التعريف والنوع
- رقم الوثيقة
- fc865121-4be2-430c-b874-a9715b0a3b37
- رقم العقد
- 0
- نوع الوسائط
- Crawler
- نوع المحتوى
- الرسائل العلمية
- صيغة المصدر
- ماستر (LMD)
- نوع الملف
- pdf text
- أسماء الملفات
- 1040228_1.pdf
بيانات النشر
- ألقاب المؤلفين
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- اللغة
- French
المصدر والدورية
- اسم المصدر
- Etude de l’effet de la température et de la durée de diffusion du phosphore à partir des couches PSG sur la jonction PN
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- كلمات الباحثين
- DiffusionPré-dépôtPSGDrive-inFTIRQSSPC
إشراف وإعداد
- الإشراف
- Abdelkader Djelloul , Dalila Hocine
- الإعداد
- Saliha Mekious , Ziad Oumohand
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