Microfabrication of Magneto strictive Beams for Integrated Sensor Systems
Ahmed Haidar Alfadhel, Jurgen Kosel
جامعة الملك عبدالله للعلوم والتقنية · السعودية
الموضوعات
علوم تطبيقية وتكنولوجية
الملخص
This dissertation reports the fabrication and characterization of integrated micro sensors consisting of magneto strictive 500 μm long cantilevers or bridges and conducting interrogation elements. The thin films are fabricated by sputter deposition of NiFe doped with B and Mo and their magnetic properties are optimized by field annealing resulting in a coercivity of 2.4 Oe. An alternating current applied to the interrogation elements magnetizes the magnetostrictive structures, and their longitudinal resonant frequency is detected as an impedance change of the interrogation elements. The significance of using magneto strictive micro beams is the high resonant frequency of the longitudinal vibration compared to transverse vibration, which can be exploited to develop sensors of high sensitivity.
روابط وملفات
التعريف والنوع
- رقم الوثيقة
- ef80efe4-d5d3-4244-8912-c66feb8ff6e6
- رقم العقد
- 0
- نوع الوسائط
- Crawler
- نوع المحتوى
- الرسائل العلمية
- صيغة المصدر
- رسائل ماجيستير
- نوع الملف
- pdf text
- أسماء الملفات
- 1700878_1.pdf
بيانات النشر
- ألقاب المؤلفين
- [{"name_ar":"Ahmed Haidar Alfadhel","title_ar":"اعداد","title_en":"Preparation"},{"name_ar":"Jurgen Kosel","title_ar":"اشراف","title_en":"Supervision"}]
- اللغة
- English
المصدر والدورية
- اسم المصدر
- Microfabrication of Magneto strictive Beams for Integrated Sensor Systems
المحتوى والصفحات
- عدد الصفحات
- 0
- كلمات الباحثين
- Cantilever, Magnetoelastic, Magnetostriction , Microfabrication , Sensor
إشراف وإعداد
- الإشراف
- Jurgen Kosel
- الإعداد
- Ahmed Haidar Alfadhel
الاقتباسات الببليوغرافية
APA
MLA