دراسة في ثلاث أبعاد للمقادير الكهربائية في جهاز الرش المهبطي المغنطروني باستعمال طريقة الحجوم المنتهية

الموضوعات

علوم بحتة وطبيعية

الملخص

يهتم عملنا هذا بتحديد خصائص بلازما الأرغون Ar (الكثافة الإلكترونية–الكثافة الأيونية–الحقل الكهربائي–الكمون الكهربائي) المستعملة لتوضع طبقات السيليسيوم Siفي مهبط أسطواني. بالإعتماد على طريقة الرش المهبطي المغنطروني المغذى بمصدر جهد متناوب RFذو تردد مذياعي تواتره MHz13.56. استعملنا لحل هذه المسألة نموذج الموائع لنظام مستقر و في تناظر أسطواني. يعتمد نموذج الموائع على معادلة الاستمرارية (للإلكترونات و الأيونات) و معادلة بواسن. للحل العددي لهذه المعادلات التفاضلية إعتمدنا على طريقة الحجوم المنتهية و الطريقة التكرارية غوص-صيدل لحساب الكثافة الإلكترونية و الكثافة الأيونية. أما لحساب الحقل الكهربائي فاستعملنا الحساب المباشر. النتائج التي تحصلنا عليها للكثافة الإلكترونية و الكثافة الأيونية أبدت توافقا مع نتائج أعمال أخرى. أما عن تأثير الحقل المغناطيسي و بعض الخصائص الماكروسكوبية فتبين لنا أن لهم دور كبير في الزيادة من خصائص البلازما خاصة الكثافة الإلكترونية و الكثافة الأيونية (بنسبة %23.63) وبالتالي زيادة مردود الرش المهبطي.

روابط وملفات

التعريف والنوع

رقم الوثيقة

0c2c29c6-92a1-4840-9174-600c7361ea6b

رقم العقد

0

نوع الوسائط

Crawler

نوع المحتوى

الرسائل العلمية

صيغة المصدر

رسائل ماجيستير

نوع الملف

pdf text

أسماء الملفات

217052_1.pdf

بيانات النشر

ألقاب المؤلفين

[{"name_ar":"خلفاوي فتحي","title_ar":"اشراف","title_en":"Supervision"},{"name_ar":"عبيـد سعيـدة","title_ar":"اعداد","title_en":"Preparation"}]

اللغة

Arabic

المصدر والدورية

اسم المصدر

دراسة في ثلاث أبعاد للمقادير الكهربائية في جهاز الرش المهبطي المغنطروني باستعمال طريقة الحجوم المنتهية

المحتوى والصفحات

عدد الصفحات

0

إشراف وإعداد

الإشراف

خلفاوي فتحي

الإعداد

عبيـد سعيـدة

الاقتباسات الببليوغرافية