Propriétés physiques des couches minces en présence des défauts de gravure isotrope

الموضوعات

علوم بحتة وطبيعية

الملخص

L’objectif de ce mémoire était d’étudier les propriétés physiques des poutres intégrées dans les systèmes micrométriques comme élément de base, en tenant compte de l’effet du non uniformité de la structure géométrique. L’étude est basée sur l’analyse vibratoire de poutres afin de développer de nouveau modèle théorique afin d’améliorer l’extraction des propriétés physiques des couches minces. Nous avons présenté le principe d’intégration de la poutre dans les systèmes, ses enjeux scientifiques et stratégiques et les méthodes de la caractérisation mécanique des couches minces. Le modèle analytique dès la micropoutre présenté est corrigé, puis analysés à partir de simulations par méthode des éléments finis (MEF) sous le logiciel COMSOL pour tester leur validité et déterminer les facteurs de correction qui compte de l'effet du largeur sur le module de Young, l’effet de la sous-gravure à sur la fréquence de vibration et celui de la section droite non-rectangulaire de la poutre sur l'inertie de la structure vibrante. Enfin, les résultats montrent que le comportement des micropoutres élaborées par la gravure isotrope est bien liée à la variation leurs paramètres géométriques qui montre la nécessité de prendre en considération la correction des défauts technologiques pour bien extraire les propriétés physiques des couches minces.

روابط وملفات

التعريف والنوع

رقم الوثيقة

031722a0-5f67-4d80-b798-8b1449b2fb17

رقم العقد

0

نوع الوسائط

Crawler

نوع المحتوى

الرسائل العلمية

صيغة المصدر

ماستر (LMD)

نوع الملف

pdf text

أسماء الملفات

2073399_1.pdf

بيانات النشر

ألقاب المؤلفين

[{"name_ar":" Rima Reguig","title_ar":"اعداد","title_en":"Preparation"},{"name_ar":"Abdelmadjid Boussendel ","title_ar":"اشراف","title_en":"Supervision"},{"name_ar":"Hicham Bourouina ","title_ar":"اشراف","title_en":"Supervision"}]

اللغة

French

المصدر والدورية

اسم المصدر

Propriétés physiques des couches minces en présence des défauts de gravure isotrope

المحتوى والصفحات

عدد الصفحات

0

ترجمة الملخص

the objective of this thesis was to study the physical properties of beams integrated in micrometric systems as a basic element, taking into account the effect of the non-uniformity of the geometric structure. The study is based on the vibratory analysis of beams in order to develop a new theoretical model to improve the extraction of the physical properties of thin layers. We presented the principle of integration of the beam in systems, its scientific and strategic issues and the methods of mechanical characterization of thin layers. The analytical model of the microbeam presented is corrected, then analyzed from simulations by finite element method (FEM) under the COMSOL software to test their validity and determine the correction factors which account for the effect of the width on the modulus of Young, the effect of under-etching on the vibration frequency and that of the non-rectangular cross section of the beam on the inertia of the vibrating structure. Finally, the results show that the behavior of the microbeams produced by isotropic etching is indeed linked to the variation in their geometric parameters, which shows the need to take into account the correction of technological defects in order to properly extract the physical properties of thin layers. ن الهدف من هذه المذكرة دراسة الخصائص الفيزيائية للروافد المدمجة في الأنظمة الميكرومترية كعنصر أساسي ، مع مراعاة تأثير عدم انتظام التركيب الهندسي. تعتمد الدراسة على التحليل الاهتزازي للروافد من أجل تطوير نموذج نظري جديد لتحسين استخلاص الخصائص الفيزيائية للطبقات الرقيقة. قدمنا مبدأ دمج الروافد في الأنظمة وأهميتها العلمية والاستراتيجية وطرق التوصيف الميكانيكي للطبقات الرقيقة. قد تم تصحيح النموذج التحليلي للروافد الميكروية المقدم ، ثم تحليله من عمليات المحاكاة بطريقة العناصر المنتهية (ط.ع.م) تحت برنامج (كومسول) لاختبار صحتها وتحديد معاملات التصحيح التي تفسر تأثير العرض على معامل يونغ ، تأثير النقش المتخلف على تردد الإهتزاز و تأثير المقطع العرضي غير المستطيل للرافدة على عطالة البنية المهتزة.أظهرت النتائج في الأخير أن سلوك الروافد الميكروية الناتجة عن النقش المتماثل يرتبط بشكل كبير بالتغير في خصائصها الهندسية ، مما يدل على الحاجة إلى مراعاة تصحيح العيوب التكنولوجية من أجل استخلاص الخصائص الفيزيائية للطبقات الرقيقة بشكل دقيق.

إشراف وإعداد

الإشراف

Abdelmadjid Boussendel , Hicham Bourouina

الإعداد

Rima Reguig

الاقتباسات الببليوغرافية