Étude des conditions physiques d'une décharge DF-CCP pour l'obtention de couches minces.
BENALLAL Rafik, BOUDGHENE STAMBOULI Arslane
كلية العلوم-جامعة أبو بكر بلقايد - تلمسان · الجزائر
الموضوعات
علوم بحتة وطبيعية
الملخص
On présente dans ce travail l'effet de la capacité de blocage (CB) et l'angle de phase (θ) parune décharge plasma capacitive double fréquence (DF-CCP). Cette étude est réalisée par lemodèle particulaire en tenant compte des collisions de Monté-Carlo (PIC-MCC). Les résultatsde la simulation sont confirmés par un modèle semi-analytique, nos résultats montrent que lecouple (CB,θ) contrôle la tension d'auto-polarisation (ƞ), où ƞ est la chute de potentiel formédans les gaines adjacentes à l'électrode de puissance et de masse. On montre aussi lapossibilité d'utiliser le couple (CB,θ) comme paramètres à contrôler indépendamment la chutede potentiel dans la gaine de puissance (Фsp) par rapport à celui de l'électrode de masse (Фsg)(et vice-versa). Cette dernière, nous permet de contrôler, quasi-indépendamment ladistribution en énergie ioniques bombardant chaque électrode.
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التعريف والنوع
- رقم الوثيقة
- 00fe2284-eec7-415d-9a48-5fd58a6605a3
- رقم العقد
- 0
- نوع الوسائط
- Crawler
- نوع المحتوى
- الرسائل العلمية
- صيغة المصدر
- رسائل دكتوراة
- نوع الملف
- pdf text
- أسماء الملفات
- 206709_1.pdf
بيانات النشر
- ألقاب المؤلفين
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- اللغة
- French
المصدر والدورية
- اسم المصدر
- Étude des conditions physiques d'une décharge DF-CCP pour l'obtention de couches minces.
المحتوى والصفحات
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إشراف وإعداد
- الإشراف
- BENALLAL Rafik
- الإعداد
- BOUDGHENE STAMBOULI Arslane
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