Etude des mélanges gazeux pour le calcul des propriétés électriques de plasmas à plusieurs composantes ioniques dans un pulvérisateur cathodique en régime RF

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علوم بحتة وطبيعية

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Notre travail s’intéresse à la détermination des propriétés électriques d'un plasma à plusieurscomposantes ioniques d’un mélange gazeux Ar/O2 utilisé pour la déposition des couchesminces de silicium dans un pulvérisateur cathodique. Le pulvérisateur est alimenté par unesource de tension radiofréquence RF=13,56MHz. Nous appliquons le modèle fluide à unedimension en régime stationnaire pour le calcul des densités nous avons proposé la résolutionl’équation de continuité en fonction des coefficients de transport variables dans le mélange etla résolution l’équation de Maxwell pour le calcul de champ électrique. Pour la résolutionnumérique des équations différentielles, nous avons proposé un programme de calculnumérique en langage fortran. Il utilise la Méthode des Différences Finies et l’algorithmeitératif de Gauss-Seidel.Mots clés: diagnostic de plasmas, pulvérisateur cathodique, mélanges gazeux, composantesioniques, propriétés électriques.

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00a9c713-c46c-44c5-8ab6-0f7818de2c66

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[{"name_ar":"Fethi Khelfaoui ","title_ar":"اشراف","title_en":"Supervision"},{"name_ar":"Sara Kobbi ","title_ar":"اعداد","title_en":"Preparation"}]

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Etude des mélanges gazeux pour le calcul des propriétés électriques de plasmas à plusieurs composantes ioniques dans un pulvérisateur cathodique en régime RF

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Fethi Khelfaoui

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